除害装置・表面処理
除害装置とは、工場や研究施設等で発生する有害ガスを安全な状態に処理・排出するための排ガス処理装置を指します。
レゾナックでは半導体エッチング工程で発生する酸性排ガス・PFC等の地球温暖化係数（GWP）の高い温室効果ガス（GHG）の除害装置を提供しています。
また、Ni合金系被膜を多層に積層成膜することによって各種特性を発現する金属表面処理も提供しています。
除害装置・表面処理の製品一覧
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半導体ウエハの製造工程で発生する、地球温暖化の原因となるPFCガス（パーフルオロカーボンガス）をクリーンなガスとして排出できる排ガス処理装置です。
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半導体製造のAl、poly-Si、酸化膜（SiO2）などによるドライエッチング工程において発生する有害酸性ガスを、安全でクリーンなガスとして排出できる排ガス処理装置です。
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無電解めっき法を用いて、半導体製造装置の金属表面にNi合金系被膜を多層に積層成膜する処理です。
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