PFC（地球温暖化ガス）除害装置
クリーンエスPFシリーズ、HICDSシリーズ
製品基本情報
製品概要
半導体ウエハの製造工程で発生する、地球温暖化の原因となるPFCガス（パーフルオロカーボンガス）をクリーンなガスとして排出できる排ガス処理装置です。
化学反応方式を採用した水処理不要の乾式と、高い安全性で効率よく分解する触媒式の装置を提供いたします。
お問い合わせ
受付時間 平日9時～18時（土日・祝日・当社指定の休業日を除く）
メリット
- 99%以上の高分解率でPFCガスを分解
- 酸排水量が少なく、環境への負荷が少ない（クリーンエスPFシリーズは酸排水ゼロ、HICDSシリーズは最大5L/min程度）
- 反応温度が600～750℃と低温処理のため、エネルギー消費量が少ない
- 電気によるヒーティング方式のため、燃料ガスを用いた方式より環境負荷が少ない
- 小型から大型サイズまで幅広いラインナップを取り揃えており、研究用から量産プロセスまで対応可能
製品ラインナップ
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