チャージアップ防止剤

レゾナックは、電子線リソグラフィーなど荷電粒子線照射プロセスにおいて、チャージアップによる問題を解決するチャージアップ防止剤「エスペイサー」を提供しています。

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電子線描画用チャージアップ防止剤 エスペイサー

半導体ウェハ、ガラスなどの表面に除去可能な高分子導電性膜を形成するための材料です。

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