高純度臭化水素 (HBr)
製品基本情報
製品概要
半導体製造におけるコンダクタのエッチング工程で使用されるガスです。
特にポリシリコンのエッチングに適しており、最先端ロジック半導体での高選択エッチングなどに使われます。
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特長
- 業界トップクラスの生産量であり、複数の生産拠点からの強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
- 腐食性ガスに対する包材技術による安定した品質
- 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
- 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート
製品特性
性状及び分類
| 外観：無色の気体 | 臭気：刺激臭 |
| CAS NO.：10035-10-6 | 国連番号：1048 |
| 液化ガス | 劇物 |
- ※ 詳しいガス性状及び安全性については、安全データシート (SDS) をご参照下さい。
HBrの物理・化学的性質
| 項目 | データ |
|---|---|
| 物理状態 | 気体 |
| 外観 | 液化ガス |
| 色 | 無色 |
| 臭い | 刺激臭 |
| ｐＨ | 該当しない |
| 融点 | -86.9 °C |
| 沸点 | -66.7 °C |
| 引火点 | 不燃性 |
| 臨界温度 | 89.8 °C |
| 蒸気圧 | 2.31 MPa (21.1 °C) |
| 臨界圧力 | 8.51 MPa |
| 相対蒸気密度 (20 °C) | 3.33 kg/m3 |
| 相対密度 |
気体比重 ： 2.71 (Air=1) |
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