高純度臭化水素
製品基本情報
製品概要
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高純度の半導体材料ガスです。
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製品説明
性状及び分類 Properties and Classification
| 外観／無色の気体 | 臭気／刺激臭 |
| CAS NO／10035-10-6 | 国連番号／1048 |
| 液化ガス | 劇物 |
- ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(MSDS)をご参照下さい。
品質規格 Specification
| 純度(Purity) | wt% | 99.999以上 |
| H2+O2 | wtppm | 2.0以下 |
| 水分 | wtppm | 2.0以下 |
| CF4 | wtppm | 1.0以下 |
| CO | wtppm | 1.0以下 |
| CO2 | wtppm | 2.0以下 |
| トータル重金属 | wtppm | 1.0以下 |
容器 Cylinder
| 項目 | 10L容器 | 47L容器 | |
|---|---|---|---|
| サイズ | 内径 | 140mm | 232mm |
| 高さ(ネック部) | 850mm | 1370mm | |
| 高さ(保護キャップ付き)※ | 1000mm | 1520mm | |
| バルブ口金部高さ(中心部)※ | 885mm | 1400mm | |
| 充てん量 | 5kg, 10kg | 50kg | |
| 材質 | マンガン鋼(クリーンエス処理) | ||
- ※ 標準バルブと標準容器を使用したときの目安値であり保証値ではありません。
容器弁 Valve
| 口金サイズ | Ø22mm×14山(w)×左ネジ(Left) |
| 材質 | SUS304 (クリーンエス処理) |
HBrの物理・化学的性質 Physical & Chemical Properties
| 項目 | 単位 | データ |
|---|---|---|
| 化学式 | HBr | |
| 分子量 | 80.91 | |
| 沸点 | ℃ | -66.72 |
| ﾟF | -89 | |
| 融点 | ℃ | -86.9 |
| 液密度 (-66.7℃) | kg/L | 2.16 |
| ガス密度 | g/L | 3.33 |
| 比重 (Air = 1) | 2.8 (101.3kPa) | |
| 臨界温度 | ℃ | 89.8 |
| 臨界圧力 | MPa | 8.51 |
| kg/cm2 | 86.8 | |
| 燃焼性 | その他 | |
| 劇・毒物 | 毒物 | |
| 蒸発潜熱 (0℃, 1013MPa) | kJ/kg | 215.5 |
| 許容濃度 (ACGIH, TLV-上限濃度) | ppm | 3 |
| 爆発限界 (空気中, 35℃, 101.3kPa) | - |
HBrの温度－蒸気圧曲線 Temperature - Vapor Pressure Curve
- 高純度臭化水素 カタログ
(257KB)
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