フェノール性水酸基含有メタクリレートモノマー
ARP-029P
製品基本情報
製品概要
単独重合または二重結合を有するモノマー (スチレン・アクリレート・メタクリレート等) との共重合が可能な、フェノール性水酸基を有するメタクリレートモノマーです。
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用途
- フォトレジスト
- 塗料
- インク
- 粘接着剤
特長
- 常温での保存安定性
- 優れた耐熱性
- 優れた現像性
製品ラインナップ
| 品名 | CAS-No | 化学名 | 分子構造式 |
|---|---|---|---|
| ARP-029P (PQMA) | 31480-93-0 | 4-ヒドロキシフェニルメタクリレート |
 |
製品特性
ホモポリマー特性
| 項目 | polyPQMA | PHS1) (比較例) |
|
|---|---|---|---|
| ポリマー構造 |  |
 |
|
| OH当量 | 178 | 120 | |
| 溶剤溶解性 | PGMES | ○ | ○ |
| 乳酸エチル | ○ | ○ | |
| メタノール | ○ | ○ | |
| アセトン | ○ | ○ | |
- 1) ポリヒドロキシスチレン, 他社製
アルカリ溶解性 2)
polyPQMAでは、アルカリ溶解性がPHSよりも良好
- 2) アルカリ溶解速度 (nm/s) = (現像前の膜厚-現像後の膜厚)/現像時間
- 測定条件
- サンプル : 濃度30 wt%の乳酸エチル溶液とし、0.2 μmのフィルターで濾過
- 基板 : ブリキ板
- 塗布 : バーコーターで塗布
- プリベーク : 110 °C、30 min、オーブン乾燥
- 現像 : 25 °C、2.38 %テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液
- リンス : イオン交換水
- ポストベーク : 110 °C、2 min、オーブン乾燥
光透過性
- 測定条件
- サンプル : 0.24 g/L メタノール溶液
- セル : 1 cm角型石英セル
- 測定 : 溶液の透過率を測定
加熱処理前後の光透過性
polyPQMAでは、加熱処理後の透過率低下がPHSに比べ小さい
| 項目 | PolyPQMA | PHS (比較例) |
|
|---|---|---|---|
| 透過率 (%) | 加熱前 | 92.5 | 87.3 |
| 加熱後 | 91.7 | 50.9 | |
- 測定条件
- サンプル : ガラス板に50 μm wetで塗布し、110 °Cで30 min乾燥
- 光源 : D65 (380 - 730 nm)
- 測定 : 230 °C X 2h加熱処理前後の塗膜の全光線透過率を測定
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