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対象業種半導体、電子部品、MEMS・センサ、光学部品、光通信デバイス
用途想定表面保護、仮固定、静電気対策、微細構造保護
微細化・高密度化が進む電子部品やMEMS、光学部品では、ワーク表面に微細な凹凸や複雑なパターンが形成されるケースが増えています。このようなワークでは、搬送中や検査維持のハンドリング、治具との接触などによって、キズや擦れ、パターン損傷といった表面ダメージが発生するおそれがあります。更に、工程内では静電気による異物付着や放電も課題となり、物理的な保護と帯電防止の両立が重要です。
現行の表面保護フィルムの中には帯電防止機能を有する製品もありますが、フィルムが硬く凹凸のある被着面に追従できないため浮きや剥がれが生じる、また粘着力が強く剥離時のパターン損傷や粘着物質の残渣が発生するといった懸念があります。
こうした課題に対し、レゾナックは微粘着、柔軟性、電荷を蓄積しないといった性能を併せ持ち、物理的かつ電気的なパターン保護を一枚で実現する帯電防止機能付き表面保護フィルムを提案します。
図1. 帯電防止機能付き表面保護フィルムの外観
本製品は、微粘着・柔軟性・帯電防止機能により、薄膜ワークや微細凹凸/回路パターンを有するワークに対し、物理的な表面保護と帯電防止を一枚で実現するフィルムです。シェア方向には強く、ピール方向には剥離しやすい微粘着層を設けたことで、工程中の表面保護とダメージレスな剥離を両立します。
更に、柔らかい基材が微細な凹凸や曲面に追従し、貼付時の浮きや保護ムラを抑えることで、パターン損傷等の表面ダメージを抑制します。また、低表面抵抗と素早い帯電減衰により、静電気による異物付着や放電リスクを低減します。
図2.柔軟な基材と微粘着層による特徴的な二層構造
シェア方向の保持力は強く、ピール方向では剥離しやすい設計により、工程中はワーク表面を保護しつつ、工程後はパターン損傷や残渣リスクを抑えながら剥離することが出来ます。粘着力はセロハンテープの約65分の1でありながら、被着体に粘着力が依存しにくく、10回貼り直し後も初期比80%以上の粘着力を発揮するため、リワークも可能で作業性も向上します。
更に、常温で貼付・剥離可能であるためUV照射や加熱処理を必要とせず、既存ラインへの導入も容易である上に、熱や光に敏感な材料や薄膜、微細パターンを有するワークの保護に適しています。
図3. セロハンテープとの粘着力比較
図4. 材質別の初期・10回貼り直し後の粘着力
※掲載のデータは、測定や計算等の結果の一例を示した代表値であり、保証値ではありません。
柔らかい基材が微細な凹凸や曲面に追従するため、貼付時の浮きや保護ムラを抑え、微細な構造・パターンを有するワークの表面保護に適しています。
特に、パターン損傷が品質に大きく影響するような電子部品やMEMS、光学部品などの工程内保護や、複雑形状部品の搬送・仮固定用途に有効です。
図5.荷重に対する変形量の比
※TMA針入モードで各荷重をかけた際の変異を記載
本フィルムは低表面抵抗および素早い帯電減衰により、異物付着や静電気放電のリスクを低減し、微細構造を有するワークの品質維持・歩留まり向上に貢献します。
図6:帯電減衰時間の比較

※10 kV,200 mmで帯電後のfilmの帯電量が50 %になるまでの時間を帯電減衰半減期として記載
図7:表面抵抗率の比較

※500 kV-1 min印可時の表面抵抗率を記載
更新日:2026年8月6日
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