高純度FC-2316（C4F6）

製品基本情報

製品概要

メリット

• 高アスペクト比でのエッチングが可能
• 業界トップクラスの生産量であり、強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
• 他エッチングガスに比べ、地球温暖化係数が低い（GWP値≦1)
• 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
• 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート

  特性値

  性状及び分類

  外観・臭気／無色無臭の気体	国連番号／3160
  CAS NO／685-63-2	液化ガス

  • ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。
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  C₄F₆の物理・化学的性質

  項目	データ
  物理状態	気体
  外観	液化ガス
  色	無色透明
  ｐＨ	該当しない
  融点	-132.1 ℃
  沸点	5.4 ℃
  臨界温度	139.6 ℃
  自然発火点	490 ℃
  蒸気圧	0.178 MPa(20 ℃) 0.473 MPa(50 ℃)
  相対蒸気密度 (20 ℃)	5.6（空気＝1）
  相対密度	1.434 (20 ℃) /飽和
  爆発範囲 (上限、下限) (g/m³)	下限：5vol ％ 上限：27vol ％(室温、101.3 kPa、空気中) 但し、酸素不存在下でも、圧力 0.61 MPa、温度 60 ℃でニクロム線溶断により11.7 Jのエネルギーを与えると圧力上昇を伴い分解し、CF4とC（炭素）を生成するというデータがある。