高純度FC-2316（C4F6）
製品基本情報
製品概要
半導体製造における絶縁膜エッチング工程で使用されるガスです。
特に酸化膜のエッチングに適しています。
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受付時間 平日9時～18時（土日・祝日・当社指定の休業日を除く）
メリット
- 高アスペクト比でのエッチングが可能
- 業界トップクラスの生産量であり、強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
- 他エッチングガスに比べ、地球温暖化係数が低い（GWP値≦1)
- 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
- 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート
特性値
性状及び分類
| 外観・臭気／無色無臭の気体 | 国連番号／3160 |
| CAS NO／685-63-2 | 液化ガス |
- ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。
C4F6の物理・化学的性質
| 項目 | データ |
|---|---|
| 物理状態 | 気体 |
| 外観 | 液化ガス |
| 色 | 無色透明 |
| ｐＨ | 該当しない |
| 融点 | -132.1 ℃ |
| 沸点 | 5.4 ℃ |
| 臨界温度 | 139.6 ℃ |
| 自然発火点 | 490 ℃ |
| 蒸気圧 |
0.178 MPa(20 ℃) 0.473 MPa(50 ℃) |
| 相対蒸気密度 (20 ℃) | 5.6（空気＝1） |
| 相対密度 |
1.434 (20 ℃) /飽和 |
| 爆発範囲 (上限、下限) (g/m³) |
下限：5vol ％ 上限：27vol ％(室温、101.3 kPa、空気中) 但し、酸素不存在下でも、圧力 0.61 MPa、温度 60 ℃でニクロム線溶断により11.7 Jのエネルギーを与えると圧力上昇を伴い分解し、CF4とC（炭素）を生成するというデータがある。 |
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