高純度六フッ化硫黄(SF6)

製品基本情報

製品概要

半導体製造におけるコンダクタのエッチング工程で使用されるガスです。
特にポリシリコンのエッチングに適しており、TSV(Si貫通ビア)形成などに使われます。

六フッ化硫黄(SF6)

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メリット

  • 強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
  • 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
  • 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート

特性値

性状及び分類

外観・臭気/無色無臭の気体もしくは液体 国連番号/1080
CAS NO/2551-62-4 液化ガス
  • 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。

SF6の物理・化学的性質

項目 データ
物理状態 気体
外観 液化ガス
無色
臭い 無臭
pH 該当しない
融点 -50.8 ℃ (224kPa)
沸点 -63.7 ℃ (昇華温度:1013hPa)
引火点 不燃性
臨界温度 45.6 ℃
蒸気圧 2.307MPa (21.1℃)
臨界圧力 3.76MPa
相対密度

液体密度:1.880kg/m3 (-50.8 ℃)

気体密度:6.16kg/m3 (20℃、101.3kPa)

密度 5.1 (空気=1)

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