高純度三塩化ホウ素(BCl3)
製品基本情報
製品概要
半導体製造におけるコンダクタのエッチング工程で使用されるガスです。
特にメタルのエッチングに適しており、最先端ロジック半導体でのゲートエッチングなどに使われます。
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受付時間 平日9時～18時（土日・祝日・当社指定の休業日を除く）
メリット
- 業界トップクラスの生産量・強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
- 腐食性ガスに対する包材技術による安定した品質
- 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
- 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート
特性値
性状及び分類
| 外観・臭気／無色無臭の気体もしくは液体 | 液化ガス |
| CAS NO／10294-34-5 | 毒物 |
| 国連番号／1741 | - |
- ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。
BCl3の物理・化学的性質
| 項目 | データ |
|---|---|
| 物理状態 | 気体 |
| 外観 | 液化ガス |
| 色 | 無色透明 |
| 臭い | 刺激臭 |
| ｐＨ | 該当しない |
| 融点 | -107.3 ℃ |
| 沸点 | 12.5 ℃ |
| 引火点 | 非引火性 |
| 蒸気圧 | 132 kPa (20 ℃) |
| 相対密度 | 4.07 気体（空気＝1） |
| 密度 |
液体（水＝1）1.434（0 ℃） |
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