高純度アンモニア（NH3）
製品基本情報
製品概要
半導体製造における絶縁膜の成膜工程で使用されるガスです。
特に窒化膜の形成に適しています。
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受付時間 平日9時～18時（土日・祝日・当社指定の休業日を除く）
メリット
- さまざまな窒化膜の成膜が可能
- 複数の生産拠点からの強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
- 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
- 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート
- 47Lから大型容器（ISOタンクコンテナ）まで幅広い荷姿での提供
特性値
性状及び分類
| 外観／無色の気体もしくは液体 | 臭気／刺激臭 |
| CAS NO／7664-41-7 | 国連番号／1005 |
| 液化ガス | 劇物 |
- ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。
NH3の物理・化学的性質
| 項目 | データ |
|---|---|
| 物理状態 | 気体 |
| 外観 | 液化ガス |
| 色 | 無色透明 |
| 臭い | アンモニア臭 |
| ｐＨ | 該当しない |
| 融点 | -77.7 ℃ |
| 沸点 | -33.4 ℃ |
| 自然発火点 | 651 ℃ |
| 蒸気圧 | 755 kPa (20 °C) |
| 相対蒸気密度 (20 ℃) | 0.55 (空気=1) |
| 相対密度 | 0.61 (20 °C) |
| 爆発限界 | 15 – 28 vol % (空気中) |
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