高純度FC-218(C3F8)
製品基本情報
製品概要
半導体製造における絶縁膜エッチング工程で使用されるガスです。
特に酸化膜のエッチングに適しています。
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受付時間 平日9時～18時（土日・祝日・当社指定の休業日を除く）
メリット
- さまざまな酸化膜のエッチングに使用可能
- 強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
- 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
- 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート
特性値
性状及び分類
| 外観／無色の気体 | 臭気／無臭 |
| CAS NO／76-19-7 | 国連番号／2424 |
| 高圧ガス 液化ガス | 不燃性 |
- ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。
C3F8の物理・化学的性質
| 項目 | データ |
|---|---|
| 物理状態 | 気体 |
| 外観 | 液化ガス |
| 色 | 無色 |
| 臭い | エーテル臭 |
| ｐＨ | 該当しない |
| 融点 | -183.0 ℃ |
| 沸点 | -36.7 ℃ |
| 引火点 | 非引火性 |
| 自然発火点 | 不燃性 |
| 蒸気圧 | 0.788 MPa (21.1 ℃) |
| 相対蒸気密度 (20 ℃) | 6.5 (空気＝1) |
| 相対密度 | 1.35 (20℃) |
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