高純度FC-14
製品基本情報
製品概要
エッチングガス、クリーニングガスに利用される高純度の半導体材料ガスです。
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製品説明
性状及び分類 Properties and Classification
| 外観・臭気／無色無臭の気体 | 外観・臭気／無色無臭の気体 |
| CAS NO／75-73-0 | 圧縮ガス |
- ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(MSDS)をご参照下さい。
品質規格 Specification
| 純度(Purity) | vol% | 99.9997以上 |
| O2+Ar | volppm | 2.0以下 |
| N2 | volppm | 10以下 |
| Ch3 | volppm | 0.5以下 |
| CO | volppm | 0.5以下 |
| CO2 | volppm | 0.7以下 |
| H2O | volppm | 0.5以下 |
| 酸分 as HF | volppm | 0.1以下 |
| SF6 | volppm | 2.0以下 |
| CHF3 | volppm | 0.6以下 |
| その他フッ化炭素分 | volppm | 2.0以下 |
容器 Cylinder
| 項目 | 10L容器 | 47L容器 | |
|---|---|---|---|
| サイズ | 内径 | 140mm | 232mm |
| 高さ(ネック部) | 850mm | 1370mm | |
| 高さ(保護キャップ付き) ※ | 1000mm | 1520mm | |
| バルブ口金部高さ(中心部)※ | 875mm | 1380mm | |
| 充てん量 | 7kg | 30kg, 33kg | |
| 材質 | マンガン鋼 | ||
- ※ 標準バルブと標準容器を使用したときの目安値であり保証値ではありません。
容器弁 Valve
| 口金サイズ | Ø22mm×14山(w)×右ネジ(Right) |
| 材質 | BRASS |
CF4の物理・化学的性質 Physical & Chemical Properties
| 項目 | 単位 | データ |
|---|---|---|
| 化学式 | CF4 | |
| 分子量 | 88.01 | |
| 沸点 | ℃ | -128.0 |
| 融点 | ℃ | -184 |
| 比重 (Air = 1) | 3.04 | |
| 液密度 | kg/L | 1.663 |
| ガス密度 (127.9℃, 飽和溶液) | g/L | 7.666 |
| 臨界温度 | ℃ | -45.55 |
| 臨界圧力 | MPa | 3.74 |
| kg/cm2 | 38.1 | |
| 燃焼性 | その他 | |
| 劇・毒物 | その他 | |
| 蒸発潜熱 (0℃, 1013MPa) | kJ/kg | 135.9 |
| 許容濃度 (ACGIH) | ppm | - |
| 爆発限界 (空気中) | - |
- 高純度FC-14 カタログ
(160KB)
このページおよび添付ファイルに記載されているデータは代表値であり保証値ではありません。
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