高純度FC-14(CF4)

製品基本情報

製品概要

メリット

• さまざまな酸化膜のエッチングが可能
• 業界トップクラスの生産量であり、強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
• 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
• 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート
• 47Lから大型容器（ISOチューブトレーラー）まで幅広い荷姿での提供

特性値

性状及び分類

• ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。

• SDSダウンロード

  CF₄の物理・化学的性質

  項目	データ
  物理状態	気体
  外観	液化ガス
  色	無色
  ｐＨ	該当しない
  融点	-184 ℃
  沸点	-127.9 ℃ (101.3kPa)
  引火点	不燃性
  臨界温度	-45.5 ℃
  蒸気圧	3.6MPa (-45.6℃)
  臨界圧力	3743 kPa
  相対蒸気密度 (20 ℃)	3.72kg/m3 (101.3kPa、15℃)
  相対密度	2.07 (空気＝1､21℃)