高純度塩素（Cl2）
製品基本情報
製品概要
半導体製造におけるコンダクタのエッチング工程で使用されるガスです。
特にポリシリコンのエッチングに適しています。
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受付時間 平日9時～18時（土日・祝日・当社指定の休業日を除く）
メリット
- さまざまなポリシリコンのエッチングが可能
- 業界トップクラスの生産量であり、複数の生産拠点からの強靭なサプライチェーンによる安定した供給体制
- 腐食性ガスに対する包材技術による安定した品質
- 半導体メーカー向けの豊富な販売実績
- 豊富な取り扱い実績に基づく充実した技術サポート
特性値
性状及び分類
| 外観／黄緑色の気体もしくは液体 | 臭気／刺激臭 |
| CAS NO／7782-50-5 | 国連番号／1017 |
| 高圧ガス 液化ガス | 毒性 |
- ※ 詳しいガス性状及び安全性については、製品安全データシート(SDS)をご参照下さい。
Cl2の物理・化学的性質
| 項目 | データ |
|---|---|
| 物理状態 | 気体 |
| 外観 | 液化ガス |
| 色 | 緑～黄色 |
| 臭い | 強い刺激臭 |
| ｐＨ | 該当しない |
| 融点 | -101 ℃ |
| 沸点 | -34.1 ℃ |
| 引火点 | 該当しない |
| 自然発火点 | 該当しない |
| 蒸気圧 |
366 kPa（0℃） 669 kPa（20℃） |
| 相対蒸気密度 (20 ℃) | 2.488 （空気＝1） |
| 相対密度 | 1.5577 (-34.05℃) |
| 爆発範囲 (上限、下限) (g/m³) | 塩素自体には、爆発性はないが、水素ガスと混合した場合、その爆発範囲は5.5 ％～89.0 ％（塩素ガス中に含まれる水素ガスの容量 ％）である。 |
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