電子線描画用チャージアップ防止剤
エスペイサー
製品基本情報
製品概要
半導体ウェハ、ガラスなどの表面に除去可能な高分子導電性膜を形成するための材料です。
その塗布膜は高い電子導電性を示します。
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メリット
- スピンコーターを使用することで容易に薄い導電性膜を形成可能
- 溶剤には水を使用
- 形成した導電性膜は水洗で容易に除去可能
エスペイサー使用時(＃100)
エスペイサーなし
電子線描画時のチャージアップ防止効果イメージ写真
用途例
電子線描画用チャージアップ防止
その他
エスペイサーはレジストの種類によっては性能を十分に発揮できない場合がございますので詳細はお問い合わせください。
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