半導体材料用高純度溶剤

スーパーソルファインシリーズ

製品基本情報

製品概要

先端半導体や先端半導体向け材料(フォトレジスト)をターゲットにした高品質溶剤です。お客様のご要望に応じた規格化や品質に対応致します。

お問い合わせ

メリット

  • 高純度、低メタル、低パーティクル、低水分等を保証する高純度溶剤をラインナップ
  • リストに記載していない溶剤についても、ラボ(試薬)・パイロットの小スケールから高純度化に対応
  • ppt(parts per trillion)レベルの金属管理
  • 各荷姿へ充填後の荷姿保証

製品ラインナップ

製品名 化合物名称 CAS・製品組成
アノン シクロヘキサノン 108-94-1
γ-ブチロラクトン γ-ブチロラクトン 96-48-0
乳酸エチル 乳酸エチル 687-47-8
NMP N-メチル-2-ピロリドン 872-50-4
PGEE プロピレングリコールモノエチルエーテル 52125-53-8
DPM ジプロピレングリコールモノメチルエーテル 34590-94-8

お問い合わせ