乾式PFC(地球温暖化ガス)除害装置

製品説明

乾式PFC除害装置　クリーンエス®PFシリーズ

概要

当社は化学メーカーとして長年にわたり蓄積した合成・分析技術を生かし、半導体製造工程などで排出されるガス問題に取り組み、より安全でクリーンなガスを排出できる排ガス処理装置を提供してまいりました。現在までに国内・外にて500台以上の販売実績があり、ユーザー様の工程において順調に稼動しています。
当社のPFC除害装置は、分解反応剤を用いてPFCガスを加熱分解し除害する、化学反応方式を採用した水処理不要の乾式除害装置です。

特徴

• 水を使わない乾式システム

化学分解反応方式による除害システムのため、薬液や冷却水・窒素は必要ありません。よって排水処理、漏水対策は不要です。

• 低温・高分解率除害装置

反応温度600℃以下という低温にて、PFC、SF₆、NF₃を高効率で分解除害処理致します。また、低温処理のため、省エネルギーにも貢献しています。

• 排出量の少ない装置

排ガス分解を電気によるヒーティング方式により行っているため、燃料ガス及び水の使用によるCO₂排出はありません。このため装置の稼動中においても環境負荷が低減されています。

• フッ素分の2次処理不要

PFCガスの除害処理で発生するフッ素分（F）は、反応剤と反応し化合物として固定する為、フッ素分（F）の2次処理は必要ありません。

• 省ユーティリティー

必要とするユーティリティは電気（定常運転時4kW/Hr）、乾燥空気、排気のみです。

• カラム交換時、装置停止不要の連続運転方式

使用中の反応剤が破過しましたら、自動で未使用側の反応器に切り替わる“2筒自動切替方式”ですので、連続運転が可能です。また、カラム交換時の装置停止も必要ありません。（2筒式のみ）

• 研究用から製造プロセスまで対応可能

研究開発用途向けの小型40L（1筒式）から、製造プロセス用途向けの100L（2筒式）高流量240L/minをラインナップ。用途に応じて幅広いラインナップからお選び頂けます。

クリーンエス®PFシリーズラインナップ

• ※ 写真をクリックすると、拡大画像が表示されます。

• ※ 改良により予告無く仕様を変更する事があります。

 

分解反応剤交換（再生）拠点

【関連製品へのリンク】

• 触媒式PFC（地球温暖化ガス）除害装置