触媒式PFC(地球温暖化ガス)除害装置

製品説明

エッチング工程から排出されるPFCを高効率で分解

半導体や液晶の製造プロセスからは多くの物質が排出されます。
近年、環境保全の観点から、地球温暖化係数の高いPFCなどのガス排出削減が求められてきています。
当社では、独自の触媒により、触媒式PFC分解装置「HICDS」を販売。
エッチング工程から排出されるPFCなどのガスを、触媒式ならではの高い安全性・経済性を生かし効率よく分解、環境保全に貢献しています。

特長

PFCなどを効率よく分解・処理

独自の触媒により、全PFCに対して高効率に分解が可能。更に、COや微量副生成物SiF4なども処理します。
また、触媒の耐久性も高く、１年以上高分解率を保持いたします。（標準条件にて運転した場合）

安全性を十分に考慮

加熱源に電気を使用することで、運転性と安全性を高めています。
また、系内を負圧に維持しクリーンルームへのガス漏れを防止します。

環境の保全に貢献

燃焼を伴わないため、排ガスや排水の量が少なく、NOｘの発生もありません。
（但し、処理ガス（ＮＦ_３、ＮＨ_３等）起源のＮＯｘは除く）

• 【関連製品へのリンク】
  • 乾式PFC（地球温暖化ガス）除害装置

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