ダイシング・ダイボンディング一体型フィルム
FHシリーズ
製品基本情報
製品概要
FHシリーズはダイシングテープとダイボンディングフィルムの機能を併せ持つ一体型フィルムです。ウェーハ裏面へのフィルムの貼付けを一度に行うため、お客さまの製造工程の短縮に貢献し、薄型ウェーハのハンドリングを容易にします。
特長
- ダイシング性、ピックアップ性に優れています。
- 低温でのウェーハ裏面貼付けに対応できます。
- ダイボンド後、熱硬化なしにワイヤボンドが可能です。
- 耐はんだリフロー性に優れています。
特性 （測定値の 一例）
| 項目 | 単位 | FH-9011 | 試験条件 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| フィルム厚み | μm | 10,20,25,40 | - | ||
| DCテープ特性 | 推奨UV照射条件 | mJ/c㎡ | 150～400 | - | |
| DC/DB 間剥離力 |
UV前 | N/25mm | 1.4 | - | |
| UV後 | N/25mm | <0.1 | - | ||
| ウェーハ貼付け温度 | ℃ | 60～80 | - | ||
| ダイボンディング条件 | 温度 | ℃ | 100～160 | - | |
| 圧力 | MPa | 0.05～2.0 | - | ||
| 引張り弾性率（35℃） | MPa | 200 | DMA | ||
| ガラス転移温度 | ℃ | 180 | TMA | ||
| ダイシェア強度（260℃） | N/chip | >100 | 5×5mmチップ | ||
