直描露光対応回路形成用 感光性フィルム
Photec RDシリーズ
製品基本情報
製品概要
ダイレクトイメージング（直接描画）方式に適した、高感度・高解像度で露光後１分で目視認可能な高イメージング性も魅力の感光性フィルムです。
特長
- 高密着性、高解像性を有しており、めっき工法による微細回路形成に適しています。
- 355 nm、405 nmの直描露光機に使用可能なマルチパーパス性、描画箇所の目視確認が可能な高イメージング性も魅力。
感光特性
（測定の一例）
| 項目 | 単位 | RD-3015 | RD-3019 | RD-3025 |
|---|---|---|---|---|
| 膜厚 | µm | 15 | 19 | 25 |
| 露光量 | mJ/cm2 | 95 | 95 | 85 |
| 推奨硬化段数 | x/41ST | 15 | 15 | 15 |
| 密着性 (L/S=x/3x) | µm | 4 | 5 | 7 |
| 解像度 (/S=x/x) | µm | 4 | 5 | 7 |
- ※ 露光機:DE-1 UH(アドテックエンジニアリング製、405 nm直描)
基板ラフネス Ra:0.4 µm
露光後加熱（P.E.B.）: 80 ℃, 30秒,（箱型乾燥機）
現像液: 1.0 wt% Na2CO3aq., 30 ℃, 0.16 MPa
レジスト形状
RD-3015 (L/S=4 µm /4 µm)
RD-3019 (L/S=5 µm/5 µm)
RD-3025 (L/S=7 µm/7 µm)