ガラス状炭素
カーボン製品
製品基本情報
製品概要
ガラス状炭素は緻密で優れた耐食性を示し、硬く、粒子の脱落が極めて少ないことから、半導体製造プロセス部材、各種高温炉部材などに使われています。当社は原材料の樹脂合成技術とカーボン製品の製造技術を融合させ信頼性の高いガラス状炭素製品をご提供します。

特長
- 非晶質な組織を持ち、特性は等方的です。
- 硬度が高く、表面はガラスのように滑らかです。
- 脱ガス特性に優れ、高純度で炭素粉の発塵が少ない。
- 強度が大きく、非常に軽量です。(密度はアルミニウムの約1/2)
- 熱膨張係数が小さいので熱変形が少なく、また熱容量も小さくなります。
- 耐薬品性、耐食性、耐酸化性に優れています。
特性
物理特性比較
ガラス状炭素の純度測定例
用途
クリーンな素材としてさまざまな分野でご使用いただいています。
- 半導体・液晶用部品
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プラズマ・エッチング装置用の電極、チャンバー部材などに使用されます。緻密な組織で、材料の消耗によるパーティクルの発生を少なくできます。

- 熱処理治具
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真空、または不活性ガス雰囲気の高温炉で、製品を熱処理する際の治具として使用されます。金属、ガラスなどとの反応性が小さく、製品の固着を少なくできます。
- ※ 炭素と化合物を生成する元素には適しません。

材料検討のヒント
ガラス状炭素を使用する前には、実際の条件で材料を評価することが必要です。 ここでは、その前段階として、検討例を示します。
材料特性面からの検討
形状面からの検討