SiCエピタキシャルウェハー

製品基本情報

製品概要

高品質なSiCバルクウェハーの上に、不純物濃度と厚みを精密に制御したSiC薄膜(エピタキシャル層)を堆積したウェハーで、SiCパワー半導体の主要材料です。

SiC半導体は、優れた高電圧特性や大電流特性により、従来のシリコン半導体を凌駕する小型・低損失の半導体デバイスの実現が可能とされています。

また、機器の電力効率を劇的に向上させ、省エネデバイス技術にも寄与します。

お問い合わせ

メリット

  • 低欠陥な製膜によりデバイスの歩留まりと信頼性向上
  • 膜厚・ドーピング濃度の均一性によりお客様のデバイス設計の効率向上

用途

太陽光発電向けDC/ACコンバータ、EV向け高効率インバータ、鉄道・産業機器向けパワーインバータに用いられるパワー半導体デバイス

お問い合わせ