ドライエッチング排ガス除害装置クリーンエス*1除害筒再生費の価格改定について
2023年03月22日
レゾナック・ホールディングス
株式会社レゾナック(社長:高橋 秀仁)は、半導体ドライエッチングガスの排ガス除害装置2製品に使用される除害筒*2の再生費*3を以下のとおり引き上げることを決定いたしました。
1.価格改定の内容
① 対象製品 クリーンエスZ型再生費(酸性ガス除害装置)
クリーンエスPF型再生費(地球温暖化ガス(PFCガス)除害装置)
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② 値上げ幅 クリーンエスZ型再生費 現行価格の15%以上
クリーンエスPF型再生費 現行価格の25%以上
③ 実施時期 2023年5月1日以降納入分より適用
2.価格改定の背景
排ガス処理装置クリーンエスは、半導体のドライエッチング工程等で排出される特殊ガスの毒性の無害化や、地球温暖化係数の高いガスを分解する装置です。私たちの生活に欠かせない半導体の製造工程において、地球温暖化へのネガティブインパクトの低減に貢献しています。乾式充填剤を用いた排ガス処理装置は、分解性能を維持するため、一定量のガスを処理する度に除害筒を交換する必要があります。
除害筒の再生を取り巻く事業環境は、昨今の原料価格高騰や、輸送費、その他のコスト上昇等、大変厳しい状況が続いております。
当社はこれまで、さまざまな施策を行い再生費の低減に努めてきましたが、自助努力により吸収することが困難となっています。今後も製品の安定供給を維持するためには、お客様に価格改定をお願いせざるを得ないとの結論に至りました。
*1クリーンエス:日本における株式会社レゾナックの登録商標*2除害筒:半導体製造工程で排出される様々なガスを無害化する処理装置内の反応器*3再生費:反応器内の反応剤が破過した際に剤を交換する費用以上
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